[实用新型]一种小型橇装式高真空获得及测量装置

说明书

本实用新型公开了一种小型橇装式高真空获得及测量装置。旋片式真空泵和控制电源、复合分子泵和控制器、复合真空计、装置总电源、电源指示灯均安装在操作柜上；高真空电磁压差式带充气阀接旋片式真空泵和金属波纹管，金属波纹管另一端接三通接头，三通接头另外两端分别接复合分子泵和高真空手动挡板直通阀；超高真空手动插板阀接复合分子泵和过渡真空室；过渡真空室一个接口与高真空挡板角阀连接，另一接口与高真空手动挡板直通阀连接，高真空手动挡板直通阀另一端接三通接头，三通接头其他两端分别接电阻规和电离规。本装置集成度高、移动方便、操作简单、运行安全、测量精确、拆卸灵活，可广泛用于各类小型真空设备获得高真空及真空度测量。

技术领域

本实用新型属于真空技术及设备领域，涉及真空获得技术及设备、真空度测量技术及设备、真空度保持技术及设备领域，具体涉及一种小型橇装式高真空获得及测量装置。

背景技术

随着科学技术的快速发展，目前真空技术已在现代工业和人们的生产生活等各领域中得到了广泛应用。随之人们对实现和保证真空状态下工艺过程的重复性、可靠性及其技术进步也在不断地提出新的要求。而真空获得技术和设备是一切真空应用技术和设备的基础，关系到所有真空应用设备的运行和使用。因此本实用新型设计了一种小型橇装式高真空获得及测量装置，本装置所有设备集中安装在操作柜内的一块安装橇上，集成度高、移动方便，运行安全、噪声小，性能稳定可靠，操作简单、拆卸灵活，真空度测量精确，可广泛应用于各类小型真空设备获得高真空及真空度测量。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种小型橇装式高真空获得及测量装置，该高真空获得及测量装置所采用的旋片式真空泵和复合分子泵配合能够获得10^-7Pa以下的真空环境，电阻规和电离规配合可对10⁵～10^-5Pa范围内的真空度进行测量。满足现今各类小型真空设备获得高真空及真空度测量，实现和保证真空状态下工艺过程的重复性、可靠性及其技术进步所提出新的要求。

为了实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：一种小型橇装式高真空获得及测量装置包括：包括旋片式真空泵、复合分子泵、操作柜、高度可调节支架、复合分子泵控制器、复合真空计、高真空电磁压差式带充气阀、超高真空手动插板阀、高真空手动挡板直通阀、异径三通、高真空挡板角阀、金属波纹管、过渡真空室、电离规、过渡接管、电阻规、装置总电源、电源指示灯、旋片式真空泵控制电源、加紧型真空快卸卡箍、漏电及过载保护设施组成。其特征在于旋片式真空泵通过地脚螺栓安装在操作柜安装橇上，复合分子泵通过高度可调节支架安装在操作柜安装橇上，复合分子泵高度及水平度可根据操作柜的操作台面进行调节，复合分子泵控制器和复合真空计通过导轨安装在操作柜上，上下位置可调。高真空电磁压差式带充气阀出气口与旋片式真空泵进气口连接，进气口与金属波纹管连接，金属波纹管的另一端与三通接头的一端连接，三通接头的另一端与复合分子泵出气口连接，三通接头的中间端与高真空手动挡板直通阀的进气口连接，高真空手动挡板直通阀的出气口作为氦质谱检漏仪的备用连接端；过渡真空室设置有一个刀口法兰连接口和两个KF加紧型真空快卸法兰接口，超高真空手动插板阀通过两面的刀口法兰分别与复合分子泵进气口和过渡真空室的刀口法兰连接口连接；过渡真空室的一个KF加紧型真空快卸法兰接口通过金属波纹管与高真空挡板角阀的出气口连接，高真空挡板角阀的进气口预留与被抽真空室连接，过渡真空室的另一个KF加紧型真空快卸法兰接口与高真空手动挡板直通阀进气口连接，高真空手动挡板直通阀出气口通过三通及过渡接管与电阻规和电离规连接；所有KF加紧型真空快卸法兰均采用KF加紧型真空快卸卡箍连接；装置的总电源、电源指示灯和旋片式真空泵控制电源安装在操作柜控制面板上，而且在操作柜控制面板上还装有漏电及过载保护设施。