[发明专利]一种光刻投影物镜有效
| 申请号： | 201811648652.0 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111381346B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郭银章;马克·欧斯可特斯凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包括沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，所述第一透镜组、所述第三透镜组均具有负光焦度，所述第二透镜组和所述第四透镜组具有正光焦度，所述第五透镜组的光焦度为0，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组、所述第四透镜组和所述第五透镜组的光焦度的和为0；所述光刻投影物镜还包括光阑；所述第一透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均包括非球面透镜，一个所述非球面透镜包括一个非球面表面；所述非球面透镜的数量大于等于4且小于等于8。本发明实施例提供一种光刻投影物镜，以实现减少非球面透镜的数量，降低加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 | ||
【主权项】：
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