[发明专利]一种光刻投影物镜

权利要求书

1.一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜由沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组组成，所述第一透镜组、所述第三透镜组均具有负光焦度，所述第二透镜组和所述第四透镜组具有正光焦度，所述第五透镜组的光焦度为0，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组、所述第四透镜组和所述第五透镜组的光焦度的和为0；所述光刻投影物镜还包括光阑；

所述第一透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均包括非球面透镜，一个所述非球面透镜包括一个非球面表面；所述非球面透镜的数量大于等于4且小于等于8。

2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组以及所述第三透镜组中，所有所述非球面透镜的非球面偏离度均小于0.5mm；所述第四透镜组中存在至少一个非球面偏离度大于等于0.5mm的非球面透镜；或者，

所述第一透镜组以及所述第四透镜组中，所有所述非球面透镜的非球面偏离度均小于0.5mm；所述第三透镜组中存在至少一个非球面偏离度大于等于0.5mm的非球面透镜；

其中，非球面透镜的非球面偏离度为非球面透镜的非球面表面与最佳拟合球面之间的轴向距离。

3.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第四透镜组中存在至少一个具有负光焦度的透镜。

4.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组中存在至少一个具有正光焦度的透镜。

5.根据权利要求4所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第二透镜组包括多个具有正光焦度的透镜；所述第一透镜组中具有正光焦度的透镜的光焦度数值，小于所述第二透镜组中任一透镜的光焦度数值。

6.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组和所述第三透镜组均包括弯月透镜。

7.根据权利要求6所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组和所述第四透镜组共至少包括两个所述弯月透镜。

8.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第三透镜组包括至少两个非球面透镜。

9.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光阑位于所述第四透镜组中相邻的两个透镜之间。

10.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组包括3个透镜，所述第一透镜组的3个透镜中有2个非球面透镜；

所述第二透镜组包括4个透镜；

所述第三透镜组包括3个透镜，所述第三透镜组的3个透镜中有2个非球面透镜；

所述第四透镜组包括7个透镜，所述第四透镜组的7个透镜中有3个或者4个非球面透镜；

所述第五透镜组包括2个透镜。

11.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第五透镜组中的任一透镜的入光面以及出光面均为平面。

12.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组包括变形镜片补偿器，所述变形镜片补偿器为所述第一透镜组中的一个透镜，所述变形镜片补偿器的径厚比的范围为9-10，径厚比为透镜的最大口径与厚度的比值；

所述变形镜片补偿器的第一表面的有效通光口径为φ₁，所述变形镜片补偿器的第二表面的有效通光口径为φ₂，所述变形镜片补偿器的第二表面位于所述变形镜片补偿器的第一表面与所述第二透镜组之间，φ₂-φ₁＞20mm。

13.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜适用于ArF准分子激光器发出的光，以及KrF准分子激光器发出的光。