[发明专利]靶材合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201811643535.5 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111378943A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;郭小康 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C1/02;B22D27/13;B22D27/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材合金背板的制作方法，包括：向熔炼设备内通入保护气体，所述保护气体压强为1标准大气压到50标准大气压；对所述熔炼设备中的第一金属进行熔化。通过向熔炼设备中通入保护气体，避免设备中含有杂质，减少待熔炼金属溶化后内部的杂质；所述保护气体的压强在1个标准大气压到50个标准大气压，能够减小液面波动情况，所述金属熔液的内部流动性增强及表面波动减小不仅可以加速金属熔液内部的夹杂物质的溢出，还有效的消除所述熔炼金属熔液内部的气体杂质，更可以减小表面液体上浮渣的卷入，使得所制作出的合金锭内部缺陷减小。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811643535.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种PCB板及其制备方法
- 下一篇：半导体芯片、半导体晶圆及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
