[发明专利]靶材合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201811643535.5 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111378943A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;郭小康 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C1/02;B22D27/13;B22D27/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 背板 制作方法 | ||
1.一种靶材合金背板的制作方法，其特征在于，包括：
向熔炼设备内通入保护气体，所述保护气体压强为1标准大气压到50标准大气压；
对所述熔炼设备中的第一金属进行熔化。
2.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述保护气体为惰性气体或氮气。
3.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述保护气体压强为5标准大气压。
4.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述第一金属为铜或铝。
5.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，熔化第一金属的温度为1090℃-1110℃。
6.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，对所述熔炼设备中的第一金属进行熔化之后，还包括：向熔化后的第一金属中加入第二金属，形成合金熔液。
7.如权利要求6所述制作方法，其特征在于，所述第二金属的熔点低于所述第一金属的熔点。
8.如权利要求6所述制作方法，其特征在于，所述第二金属为锌或锡。
9.如权利要求6所述制作方法，其特征在于，向熔化后的第一金属中加入第二金属时，进行搅拌工艺；
搅拌后静置并保温20min-30min。
10.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，形成合金熔液之后，还包括：
将所述合金熔液在所述保护气体氛围中进行浇铸工艺，形成合金锭。
11.如权利要求10所述制作方法，其特征在于，浇铸工艺中，包括：提供浇道，将所述合金熔液倾入浇道。
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