[发明专利]一种OLED蒸镀坩埚在审
申请号: | 201811633650.4 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109576649A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 林志峥 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种OLED蒸镀坩埚,包括坩埚本体、坩埚上盖、第一导热层和第二导热层;坩埚本体具有容纳腔,所述坩埚本体顶部设有开口,所述容纳腔与所述开口连通;坩埚上盖覆盖所述开口,且设置在坩埚本体顶部上;所述坩埚上盖的中间位置设有用于连通容纳腔与坩埚本体外部的喷嘴;第一导热层覆盖坩埚本体的外侧壁,且设置在坩埚本体上,第二导热层覆盖在坩埚上盖远离容纳腔的一侧壁,且设置在坩埚上盖上;第二导热层的底部与第一导热的顶部接触,所述第二导热层设有与所述喷嘴连通的通孔。本发明通过上述结构,能够防止汽化的蒸镀材料经过喷嘴时由于温度降低冷凝,附着到喷嘴周围,一定时间后就会造成喷嘴堵塞,并且提高了有机薄膜的质量。 | ||
搜索关键词: | 坩埚本体 坩埚 导热层 上盖 喷嘴 容纳腔 连通 开口 蒸镀 覆盖 导热 汽化 喷嘴堵塞 温度降低 有机薄膜 蒸镀材料 外侧壁 冷凝 附着 通孔 外部 | ||
【主权项】:
1.一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,包括坩埚本体、坩埚上盖、第一导热层和第二导热层;所述坩埚本体具有容纳腔,所述坩埚本体顶部设有开口,所述容纳腔与所述开口连通;所述坩埚上盖覆盖所述开口,且设置在坩埚本体顶部上,以使所述容纳腔形成密封空间;所述坩埚上盖的中间位置设有用于连通容纳腔与坩埚本体外部的喷嘴;所述第一导热层覆盖坩埚本体的外侧壁,且设置在坩埚本体上,所述第二导热层覆盖在坩埚上盖远离容纳腔的一侧壁,且设置在坩埚上盖上;所述第二导热层的底部与第一导热的顶部接触,所述第二导热层设有与所述喷嘴连通的通孔。
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