[发明专利]一种OLED蒸镀坩埚

说明书

本发明提供了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖、第一导热层和第二导热层；坩埚本体具有容纳腔，所述坩埚本体顶部设有开口，所述容纳腔与所述开口连通；坩埚上盖覆盖所述开口，且设置在坩埚本体顶部上；所述坩埚上盖的中间位置设有用于连通容纳腔与坩埚本体外部的喷嘴；第一导热层覆盖坩埚本体的外侧壁，且设置在坩埚本体上，第二导热层覆盖在坩埚上盖远离容纳腔的一侧壁，且设置在坩埚上盖上；第二导热层的底部与第一导热的顶部接触，所述第二导热层设有与所述喷嘴连通的通孔。本发明通过上述结构，能够防止汽化的蒸镀材料经过喷嘴时由于温度降低冷凝，附着到喷嘴周围，一定时间后就会造成喷嘴堵塞，并且提高了有机薄膜的质量。

技术领域

本发明涉及OLED技术领域，尤其涉及一种OLED蒸镀坩埚。

背景技术

在目前OLED真空蒸镀制程中，蒸镀材料经过高温汽化后沉积到背板玻璃上，最终形成有机薄膜，用于实现OLED器件发光，其中OLED器件品质及寿命对薄膜的均匀性变化相当敏感，因此蒸镀设备和技术也面对着诸多极高精度的要求。而现有的坩埚本体的底部受热后，会使蒸镀材料汽化，但由于汽化的气体从坩埚本体顶部的开口处流出时，由于坩埚本体的顶部并不受热，即此时气体受冷，影响有机薄膜均匀性，及形成的OLED器件的品质。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何提供一种能够提高有机薄膜质量的OLED蒸镀坩埚。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖、第一导热层和第二导热层；

所述坩埚本体具有容纳腔，所述坩埚本体顶部设有开口，所述容纳腔与所述开口连通；

所述坩埚上盖覆盖所述开口，且设置在坩埚本体顶部上，以使所述容纳腔形成密封空间；所述坩埚上盖的中间位置设有用于连通容纳腔与坩埚本体外部的喷嘴；

所述第一导热层覆盖坩埚本体的外侧壁，且设置在坩埚本体上，所述第二导热层覆盖在坩埚上盖远离容纳腔的一侧壁，且设置在坩埚上盖上；所述第二导热层的底部与第一导热的顶部接触，所述第二导热层设有与所述喷嘴连通的通孔。

进一步的，所述第一导热层为第一石墨外壳，第一石墨外壳与所述坩埚本体的外侧壁接触。

进一步的，所述第二导热层为第二石墨外壳，第二石墨外壳与所述坩埚上盖的一侧壁接触。

进一步的，所述的OLED蒸镀坩埚，还包括通过所述开口放置在容纳腔底部的蒸镀材料。

进一步的，所述坩埚本体的侧壁厚度为2-5cm，所述第一导热层和第二导热层的厚度均为2-5cm，且所述第一导热层、第二导热层、坩埚本体的厚度均相等；所述坩埚上盖的厚度为2cm。

进一步的，所述坩埚上盖平行于水平面设置，所述喷嘴垂直于水平面设置。

进一步的，所述容纳腔的横截面沿坩埚本体底部往所述开口逐渐变小。

本发明的有益效果为：

本发明提供的一种OLED蒸镀坩埚，其坩埚本体的容纳腔底部用于放置蒸镀材料，坩埚本体的底部用于加热，当坩埚本体加热后，使容纳腔内的蒸镀材料达到沸点后汽化，汽化后的气体从喷嘴及通孔流出，从而沉积至背板玻璃上，最终形成有机薄膜，由于坩埚本体的底部受热后，会将热量通过坩埚本体的侧壁，传递第一导热层，第一导热层通过其顶部将热量传递至第二导热层的底部，从而使导热层的温度上升，能够起到对汽化后的气体起到保温加热的作用，防止其在坩埚本体的顶部受冷，影响有机薄膜的质量，并且能够防止汽化的蒸镀材料经过喷嘴时由于温度降低冷凝，附着到喷嘴周围，一定时间后就会造成喷嘴堵塞，正常的蒸镀速率降低，使薄膜均匀性受到影响，最后引起OLED器件品质与寿命降低的问题。

附图说明

图1为根据本发明实施例的一种OLED蒸镀坩埚的结构示意图；