[发明专利]一种OLED蒸镀坩埚在审
申请号: | 201811633650.4 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109576649A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 林志峥 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚本体 坩埚 导热层 上盖 喷嘴 容纳腔 连通 开口 蒸镀 覆盖 导热 汽化 喷嘴堵塞 温度降低 有机薄膜 蒸镀材料 外侧壁 冷凝 附着 通孔 外部 | ||
1.一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,包括坩埚本体、坩埚上盖、第一导热层和第二导热层;
所述坩埚本体具有容纳腔,所述坩埚本体顶部设有开口,所述容纳腔与所述开口连通;
所述坩埚上盖覆盖所述开口,且设置在坩埚本体顶部上,以使所述容纳腔形成密封空间;所述坩埚上盖的中间位置设有用于连通容纳腔与坩埚本体外部的喷嘴;
所述第一导热层覆盖坩埚本体的外侧壁,且设置在坩埚本体上,所述第二导热层覆盖在坩埚上盖远离容纳腔的一侧壁,且设置在坩埚上盖上;所述第二导热层的底部与第一导热的顶部接触,所述第二导热层设有与所述喷嘴连通的通孔。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述第一导热层为第一石墨外壳,第一石墨外壳与所述坩埚本体的外侧壁接触。
3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述第二导热层为第二石墨外壳,第二石墨外壳与所述坩埚上盖的一侧壁接触。
4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,还包括通过所述开口放置在容纳腔底部的蒸镀材料。
5.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚本体的侧壁厚度为2-5cm,所述第一导热层和第二导热层的厚度均为2-5cm,且所述第一导热层、第二导热层、坩埚本体的厚度均相等;所述坩埚上盖的厚度为2cm。
6.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚上盖平行于水平面设置,所述喷嘴垂直于水平面设置。
7.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述容纳腔的横截面沿坩埚本体底部往所述开口逐渐变小。
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