[发明专利]一种用特征向量归类孔层的OPC方法

摘要

本发明提供一种用特征向量归类孔层的OPC方法，包括：基准孔和其周围的其他孔，构建每个基准孔和其周围其他孔的角度和距离的特征向量，用于描述相邻孔之间的位置关系，根据每个孔周围的距离和角度进行归类。本发明能够在非投影情况下，实现接触孔和连接孔的筛选及归类，舍弃传统的投影长度，引入角度变量，使用EDA程式反馈每个孔的角度及距离的特征向量，解决了由于本身的CD决定了投影长度很小，而大量的图形是非投影的情况。

主权项

1.一种用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于，该方法至少包括：步骤一、提供一基准孔，以该基准孔为原点建立直角坐标系，该直角坐标系的横轴x正向定义为东，横轴x负向定义为西，纵轴y正向定义为北，纵轴y负向定义为南；被所述横纵轴划分的第一至第四象限分别依次表示为NE、NW、SW、SE；所述横轴x正向、横轴x负向、纵轴y正向和纵轴y负向分别依次用RM、LM、TM、BM表示；步骤二、落在所述第一至第四象限内的其他孔与所述基准孔的方位关系分别依次用SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE四个方位参数描述；落在所述横轴x正向、横轴x负向、纵轴y正向和纵轴y负向上的其他孔与所述基准孔的方位关系分别依次用LM2RM、RM2LM、BM2TM、TM2BM四个方位参数描述；步骤三、所述每个方位参数包含距离L和角度θ两个变量；所述角度变量的计算公式为：(dx、dy分别为所述其他孔在横轴x和纵轴y方向的投影)；所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM对应的距离变量依次为L₀₁₀、L₀₁₁、L₀₁₂、L₀₁₃、L₀₁₄、L₀₁₅、L₀₁₆、L₀₁₇；以及所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM对应的角度变量依次为θ₀₁₀、θ₀₁₁、θ₀₁₂、θ₀₁₃、θ₀₁₄、θ₀₁₅、θ₀₁₆、θ₀₁₇；步骤四、所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM依次对应的距离变量和其依次对应的角度变量分别生成两个特征向量{L010，L011，L012，L013，L014，L015，L016，L017}和{θ010，θ011，θ012，θ013，θ014，θ015，θ016，θ017}；所述两个特征向量联合定义所述基准孔与其周围其他孔的位置关系。