[发明专利]一种用特征向量归类孔层的OPC方法

权利要求书

1.一种用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于，该方法至少包括：

步骤一、提供一基准孔，以该基准孔为原点建立直角坐标系，该直角坐标系的横轴x正向定义为东，横轴x负向定义为西，纵轴y正向定义为北，纵轴y负向定义为南；被横纵轴划分的第一至第四象限分别依次表示为NE、NW、SW、SE；所述横轴x正向、横轴x负向、纵轴y正向和纵轴y负向分别依次用RM、LM、TM、BM表示；

步骤二、落在所述第一至第四象限内的其他孔与所述基准孔的方位关系分别依次用SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE四个方位参数描述；落在所述横轴x正向、横轴x负向、纵轴y正向和纵轴y负向上的其他孔与所述基准孔的方位关系分别依次用LM2RM、RM2LM、BM2TM、TM2BM四个方位参数描述；

步骤三、每个方位参数包含距离L和角度θ两个变量；角度变量的计算公式为：dx、dy分别为所述其他孔在横轴x和纵轴y方向的投影；所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM对应的距离变量依次为L₀₁₀、L₀₁₁、L₀₁₂、L₀₁₃、L₀₁₄、L₀₁₅、L₀₁₆、L₀₁₇；以及所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM对应的角度变量依次为θ₀₁₀、θ₀₁₁、θ₀₁₂、θ₀₁₃、θ₀₁₄、θ₀₁₅、θ₀₁₆、θ₀₁₇；

步骤四、所述方位参数SW2NE、SE2NW、NE2SW、NW2SE、LM2RM、BM2TM、RM2LM、TM2BM依次对应的距离变量和其依次对应的角度变量分别生成两个特征向量{L₀₁₀，L₀₁₁，L₀₁₂，L₀₁₃，L₀₁₄，L₀₁₅，L₀₁₆，L₀₁₇}和{θ₀₁₀，θ₀₁₁，θ₀₁₂，θ₀₁₃，θ₀₁₄，θ₀₁₅，θ₀₁₆，θ₀₁₇}；所述两个特征向量联合定义所述基准孔与其周围其他孔的位置关系。

2.根据权利要求1所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：所述基准孔为边长大于1nm的正方形，所述直角坐标系的原点为该正方形的中心。

3.根据权利要求2所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：所述其他孔为边长大于1nm的正方形。

4.根据权利要求3所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：所述dx、dy的值分别大于0.5nm。

5.根据权利要求1所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：所述距离变量的取值范围大于0；所述角度变量的取值范围为0≤θ≤90°。

6.根据权利要求1所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：所述基准孔周围存在5个其他孔，所述两个特征向量分别为{0.120，0.120，0.160，0.160，N，N，0.100，N}和{60°，60°，30°，30°，N，N，N，90°}，其中N表示该变量没有对应的所述其他孔的存在。

7.根据权利要求1所述的用特征向量归类孔层的OPC方法，其特征在于：对所述两个特征向量{L₀₁₀，L₀₁₁，L₀₁₂，L₀₁₃，L₀₁₄，L₀₁₅，L₀₁₆，L₀₁₇}和{θ₀₁₀，θ₀₁₁，θ₀₁₂，θ₀₁₃，θ₀₁₄，θ₀₁₅，θ₀₁₆，θ₀₁₇}分别增加对应的偏转因子：{ΔL₀₁₀，ΔL₀₁₁，ΔL₀₁₂，ΔL₀₁₃，ΔL₀₁₄，ΔL₀₁₅，ΔL₀₁₆，ΔL₀₁₇}和{Δθ₀₁₀，Δθ₀₁₁，Δθ₀₁₂，Δθ₀₁₃，Δθ₀₁₄，Δθ₀₁₅，Δθ₀₁₆，Δθ₀₁₇}。