[发明专利]发光二极管的外延片生长装置

摘要

本发明公开了一种发光二极管的外延片生长装置。该生长装置包括气源、真空发生器、反应室、开关阀和排气阀，气源与开关阀的进气口连通，开关阀的出气口与真空发生器的进气口连通，真空发生器的抽气口与排气阀的出气口连通，排气阀的进气口与反应室连通。在开关阀和排气阀都开启时，通过气源向真空发生器的进气口提供气流，真空发生器的抽气口气压降低，反应室内的气体被抽出，随同气流喷出真空发生器的出气口，这样就可以降低反应室内的气压，使反应室内形成负压，在达到所要求的压力时，关闭排气阀，反应室内的气压维持在恒定状态，同时可以关闭开关阀，停止向真空发生器提供气流，这样不需要继续提供能量来维持反应室的负压环境，节省了能源。

主权项

1.一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，包括气源(10)、真空发生器(20)、反应室(30)、开关阀(40)和排气阀(50)，所述气源(10)与所述开关阀(40)的进气口连通，所述开关阀(40)的出气口与所述真空发生器(20)的进气口连通，所述真空发生器(20)的抽气口与所述排气阀(50)的出气口连通，所述排气阀(50)的进气口与所述反应室(30)连通。