[发明专利]发光二极管的外延片生长装置

说明书

本发明公开了一种发光二极管的外延片生长装置。该生长装置包括气源、真空发生器、反应室、开关阀和排气阀，气源与开关阀的进气口连通，开关阀的出气口与真空发生器的进气口连通，真空发生器的抽气口与排气阀的出气口连通，排气阀的进气口与反应室连通。在开关阀和排气阀都开启时，通过气源向真空发生器的进气口提供气流，真空发生器的抽气口气压降低，反应室内的气体被抽出，随同气流喷出真空发生器的出气口，这样就可以降低反应室内的气压，使反应室内形成负压，在达到所要求的压力时，关闭排气阀，反应室内的气压维持在恒定状态，同时可以关闭开关阀，停止向真空发生器提供气流，这样不需要继续提供能量来维持反应室的负压环境，节省了能源。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种发光二极管的外延片生长装置。

背景技术

LED(Light Emitting Diode，发光二极管)具有体积小、寿命长、功耗低等优点，目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。

在制作LED时，需要先制作出外延片，然后将外延片制作成LED芯片。外延片的制作通常在MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition金属有机化合物化学气相沉淀)设备中进行。外延片的制作需要负压环境，目前通常是采用真空泵形成负压环境。真空泵在工作时需要连续不断的运行才可以维持负压环境，需要消耗大量的能源。

发明内容

本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片生长装置，能够降低维持负压环境的能耗。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片生长装置，包括气源、真空发生器、反应室、开关阀和排气阀，所述气源与所述开关阀的进气口连通，所述开关阀的出气口与所述真空发生器的进气口连通，所述真空发生器的抽气口与所述排气阀的出气口连通，所述排气阀的进气口与所述反应室连通。

可选地，所述生长装置还包括控制器，所述控制器与所述开关阀连通，所述控制器用于当所述反应室内的压力上升到第一预设阈值时控制所述开关阀导通，当所述反应室内的压力下降到第二预设阈值时控制所述开关阀关闭，所述第二预设阈值不大于所述第一预设阈值。

可选地，所述控制器还与所述排气阀连通，所述控制器用于当所述反应室内的压力上升到所述第一预设阈值时控制所述排气阀导通，当所述反应室内的压力下降到所述第二预设阈值时控制所述排气阀关闭。

可选地，所述控制器用于在所述开关阀导通第一预设时长后控制所述排气阀导通。

可选地，所述控制器用于在所述排气阀关闭第二预设时长后控制所述开关阀关闭。

可选地，所述排气阀为单向阀。

可选地，所述反应室连通有第一压力表。

可选地，所述气源与所述开关阀之间连接有第二压力表。

可选地，所述生长装置还包括废气回收罐，所述废气回收罐与所述真空发生器的出气口连通。

可选地，所述开关阀和所述排气阀均为电磁阀或气动阀。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：通过设置气源、真空发生器、反应室、开关阀和排气阀，将气源与开关阀的进气口连通，开关阀的出气口与真空发生器的进气口连通，真空发生器的抽气口与排气阀的出气口连通，排气阀的进气口与反应室连通，这样在开关阀和排气阀都开启时，通过气源向真空发生器的进气口提供气流，会使得真空发生器的抽气口气压降低，反应室内的气体会被抽出，随同气流一起喷出真空发生器的出气口，这样就可以降低反应室内的气压，使反应室内形成负压，在达到所要求的压力时，关闭排气阀，反应室内的气压维持在恒定状态，同时可以关闭开关阀，停止向真空发生器提供气流，这样不需要继续提供能量来维持反应室的负压环境，节省了能源。

附图说明