[发明专利]发光二极管的外延片生长装置

权利要求书

1.一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，包括气源(10)、真空发生器(20)、反应室(30)、开关阀(40)、排气阀(50)和控制器(60)，所述开关阀(40)和所述排气阀(50)均为气动阀，且均采用所述气源(10)为驱动动力，所述气源(10)与所述开关阀(40)的进气口连通，所述开关阀(40)的出气口与所述真空发生器(20)的进气口连通，所述真空发生器(20)的抽气口与所述排气阀(50)的出气口连通，所述排气阀(50)的进气口与所述反应室(30)连通，所述控制器(60)与所述开关阀(40)和所述排气阀(50)连通；

所述控制器(60)用于当所述反应室(30)内的压力上升到第一预设阈值时控制所述开关阀(40)导通，在所述开关阀(40)导通0.1s～1s后控制所述排气阀(50)导通；

当所述反应室(30)内的压力下降到第二预设阈值时，控制所述排气阀(50)关闭，在所述排气阀(50)关闭0.1s～1s后控制所述开关阀(40)关闭，所述第二预设阈值小于所述第一预设阈值。

2.根据权利要求1所述的生长装置，其特征在于，所述反应室(30)连通有第一压力表(70)。

3.根据权利要求1所述的生长装置，其特征在于，所述气源(10)与所述开关阀(40)之间连接有第二压力表(80)。

4.根据权利要求1所述的生长装置，其特征在于，所述生长装置还包括废气回收罐(90)，所述废气回收罐(90)与所述真空发生器(20)的出气口连通。