[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置有效
| 申请号： | 201811608066.3 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110166016B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 高井努;山本浩司;岩本英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朴云龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种弹性波装置，该弹性波装置作为高声速膜而具有氮化硅层，其中，不易产生IMD特性的劣化，且不易产生氮化硅层的自毁。一种弹性波装置，在由半导体构成的支承基板(2)上直接或间接地层叠有SiN |
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| 搜索关键词： | 弹性 装置 高频 前端 电路 以及 通信 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：支承基板，由半导体构成；SiNx层，直接或间接地层叠在所述支承基板上；压电膜，直接或间接地层叠在所述SiNx层上，具有相互对置的一对主面；以及IDT电极，直接或间接地设置在所述压电膜的至少一个主面上，在所述SiNx层中，x处于1.34以上且1.66以下的范围。
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