[发明专利]一种检测装置在审
申请号: | 201811564575.0 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN109738343A | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 亓宏博 | 申请(专利权)人: | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06;F28D7/10 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种检测装置,涉及基板玻璃制造领域。检测装置用于检测马弗炉内的气体洁净度,其包括探测管和冷却管,探测管的一端用于伸入马弗炉内以采集马弗炉内的气体,探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪,激光尘埃粒子检测仪用于检测探测管采集的气体的尘埃粒子数,冷却管套设于探测管,冷却管的内壁与探测管的外壁之间形成通道,通道用于供冷却水流通以冷却流经探测管内的气体。本检测装置能够对马弗炉内热态基板玻璃所处的气体环境进行洁净度检测以控制或者减少后续冷端加工过程中基板玻璃表面的尘埃粒子数量。 | ||
搜索关键词: | 探测管 马弗炉 激光尘埃粒子 尘埃粒子 基板玻璃 检测装置 检测仪 冷却管 种检测 基板玻璃表面 采集 洁净度检测 冷却管套 气体环境 气体洁净 一端连接 冷却水 检测 冷端 内壁 内热 伸入 外壁 冷却 流通 制造 | ||
【主权项】:
1.一种检测装置,用于检测马弗炉内的气体洁净度,其特征在于,包括探测管和冷却管,所述探测管的一端用于伸入所述马弗炉内以采集马弗炉内的气体,所述探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪,所述激光尘埃粒子检测仪用于检测所述探测管采集的气体的尘埃粒子数,所述冷却管套设于所述探测管,所述冷却管的内壁与所述探测管的外壁之间形成通道,所述通道用于供冷却水流通以冷却流经所述探测管内的气体。
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