[发明专利]一种检测装置在审
| 申请号： | 201811564575.0 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109738343A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 亓宏博 | 申请（专利权）人： | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;F28D7/10 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探测管 马弗炉 激光尘埃粒子 尘埃粒子 基板玻璃 检测装置 检测仪 冷却管 种检测 基板玻璃表面 采集 洁净度检测 冷却管套 气体环境 气体洁净 一端连接 冷却水 检测 冷端 内壁 内热 伸入 外壁 冷却 流通 制造 | ||
1.一种检测装置，用于检测马弗炉内的气体洁净度，其特征在于，包括探测管和冷却管，所述探测管的一端用于伸入所述马弗炉内以采集马弗炉内的气体，所述探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪，所述激光尘埃粒子检测仪用于检测所述探测管采集的气体的尘埃粒子数，所述冷却管套设于所述探测管，所述冷却管的内壁与所述探测管的外壁之间形成通道，所述通道用于供冷却水流通以冷却流经所述探测管内的气体。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测管包括采集段和引流段，所述引流段的一端连接于所述激光尘埃粒子检测仪，所述引流段的另一端连接于所述采集段的一端，且所述引流段与所述采集段之间的夹角为钝角，所述采集段远离所述引流段的一端用于伸入所述马弗炉内以采集马弗炉内的气体。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述采集段与所述引流段之间的夹角为120°。
4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述采集段长度为200mm。
5.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述采集段与所述引流段圆弧过渡。
6.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述冷却管套设于所述引流段，所述冷却管的内壁与所述引流段的外壁之间形成所述通道。
7.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述引流段远离所述采集段的一端设置有连接件，所述激光尘埃粒子检测仪通过软管连接于所述连接件。
8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述冷却管两端封口且周壁设置有用于供所述冷却水进入的进水口以及用于供所述冷却水流出的出水口。
9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括进水管和出水管，所述进水管连接于所述进水口，所述出水管连接于所述出水口。
10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测管总长度为1800mm，所述冷却管总长度1300mm。
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