[发明专利]一种检测装置

说明书

本发明提供一种检测装置，涉及基板玻璃制造领域。检测装置用于检测马弗炉内的气体洁净度，其包括探测管和冷却管，探测管的一端用于伸入马弗炉内以采集马弗炉内的气体，探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪，激光尘埃粒子检测仪用于检测探测管采集的气体的尘埃粒子数，冷却管套设于探测管，冷却管的内壁与探测管的外壁之间形成通道，通道用于供冷却水流通以冷却流经探测管内的气体。本检测装置能够对马弗炉内热态基板玻璃所处的气体环境进行洁净度检测以控制或者减少后续冷端加工过程中基板玻璃表面的尘埃粒子数量。

技术领域

本发明涉及基板玻璃制造领域，具体而言，涉及一种检测装置。

背景技术

在液晶显示屏用基板玻璃(TFT－LCD基板玻璃)制造过程中，利用马弗炉将1600℃的熔融态玻璃液通过不同设置的层级及层级功能溢流下拉成一定尺寸的基板玻璃。马弗炉内温度高达1000℃，热态下的基板玻璃表面的尘埃会影响后续冷端加工，尘埃粒子数为后续冷端加工过程中的一个不良指标，因此需要对马弗炉内基板玻璃所处环境的空气洁净度进行检测以控制或者减少后续冷端加工过程中基板玻璃表面的尘埃粒子数量。

发明内容

本发明的目的包括提供一种检测装置，其能够对马弗炉内热态基板玻璃所处的气体环境进行洁净度检测以控制或者减少后续冷端加工过程中基板玻璃表面的尘埃粒子数量。

本发明的实施例是这样实现的：

一种检测装置，用于检测马弗炉内的气体洁净度，其包括探测管和冷却管，探测管的一端用于伸入马弗炉内以采集马弗炉内的气体，探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪，激光尘埃粒子检测仪用于检测探测管采集的气体的尘埃粒子数，冷却管套设于探测管，冷却管的内壁与探测管的外壁之间形成通道，通道用于供冷却水流通以冷却流经探测管内的气体。

进一步地，上述探测管包括采集段和引流段，引流段的一端连接于激光尘埃粒子检测仪，引流段的另一端连接于采集段的一端，且引流段与采集段之间的夹角为钝角，采集段远离引流段的一端用于伸入马弗炉内以采集马弗炉内的气体。

进一步地，上述采集段与引流段之间的夹角为120°。

进一步地，上述采集段长度为200mm。

进一步地，上述采集段与引流段圆弧过渡。

进一步地，上述冷却管套设于引流段，冷却管的内壁与引流段的外壁之间形成通道。

进一步地，上述引流段远离采集段的一端设置有连接件，激光尘埃粒子检测仪通过软管连接于连接件。

进一步地，上述冷却管两端封口且周壁设置有用于供冷却水进入的进水口以及用于供冷却水流出的出水口。

进一步地，上述检测装置还包括进水管和出水管，进水管连接于进水口，出水管连接于出水口。

进一步地，上述探测管总长度为1800mm，冷却管总长度1300mm。

本发明实施例的有益效果包括：检测装置用于检测马弗炉内的气体洁净度，其包括探测管和冷却管，探测管的一端用于伸入马弗炉内以采集马弗炉内的气体，探测管的另一端连接于激光尘埃粒子检测仪，激光尘埃粒子检测仪用于检测探测管采集的气体的尘埃粒子数，冷却管套设于探测管，冷却管的内壁与探测管的外壁之间形成通道，通道用于供冷却水流通以冷却流经探测管内的气体。本检测装置能够对马弗炉内热态基板玻璃所处的气体环境进行洁净度检测，进而减少后续冷端加工中出现的尘埃颗粒数量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。