[发明专利]一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法有效
| 申请号： | 201811564308.3 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111355118B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张杨;李弋洋 | 申请（专利权）人： | 中科芯电半导体科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 张素红 |
| 地址： | 100076 北京市大兴区西红*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构，所述结构包括经过裁剪的VCSEL结构外延材料样品，蓝膜和基底，所述VCSEL结构外延样品直立设置，且通过蓝膜粘贴固定在基底上。本发明还提供了一种上述VCSEL结构外延材料结构的制备方法。本发明提供的一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法，通过对VCSEL结构外延材料的裁剪并采用通过蓝膜将其固定在基底上的形式，解决了VCSEL结构外延材料因厚度较厚无法直接进行光致发光测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光致发光 测试 vcsel 结构 外延 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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