[发明专利]一种用于矫正塑封平板翘曲的压制结构及半导体装置在审
申请号: | 201811562110.1 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN109817551A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 姚大平 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱静谦 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及塑封平板矫正技术领域,具体涉及一种用于矫正塑封平板翘曲的半导体装置的压制结构及半导体装置。其中压制结构包括:压制平台,沿垂直于塑封平板方向往返移动,用于对设于下方的塑封平板施加压力;连接结构,一端与压制平台连接,另一端与用于驱动压制平台往返运动的驱动装置连接,连接结构与压制平台之间设置有阻止压制平台中的热量从压制平台经连接结构向外传递的隔热结构。其中半导体装置包括压制结构以及设置于压制结构下方用于承载塑封平板的承载平台。本发明的用于矫正塑封平板翘曲的半导体装置的压制结构在对塑封平板加热升温时,采用隔热结构可以阻止热量传递到其他结构中,从而减少或杜绝对其他结构产生影响。 | ||
搜索关键词: | 塑封 压制结构 半导体装置 压制 矫正 连接结构 翘曲 隔热结构 承载平台 加热升温 结构产生 平板方向 驱动装置 热量传递 施加压力 往返移动 往返运动 承载 垂直 驱动 传递 | ||
【主权项】:
1.用于矫正塑封平板翘曲的半导体装置的压制结构,其特征在于,包括:压制平台(4),沿垂直于塑封平板方向往返移动,用于对设于下方的所述塑封平板(9)施加压力;连接结构,一端与所述压制平台(4)连接,另一端与用于驱动所述压制平台(4)往返运动的驱动装置连接,所述连接结构与所述压制平台(4)之间设置有阻止所述压制平台(4)中的热量从所述压制平台(4)经所述连接结构向外传递的隔热结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造