[发明专利]基于β-Ga2有效

专利信息
申请号: 201811488200.0 申请日: 2018-12-06
公开(公告)号: CN109755341B 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 王霞;李培刚;唐为华 申请(专利权)人: 北京镓族科技有限公司
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王文君;陈征
地址: 101300 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种基于β‑Ga2O3/FTO异质结的日盲紫外光电探测器,包括β‑Ga2O3薄膜、FTO导电玻璃和电极,β‑Ga2O3薄膜置于FTO导电玻璃上构成异质结,在β‑Ga2O3薄膜和FTO导电玻璃上各设置有一个电极。本发明还提出基于β‑Ga2O3/FTO异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法及其应用。本发明提出基于β‑Ga2O3/FTO异质结的日盲紫外光电探测器,可以在有效探测UVC信号和有效过滤部分UVB和UVA光的同时,还可以有效的穿透可见光的特点。该发明为β‑Ga2O3/FTO异质结日盲紫外光电探测器的应用提供理论和技术支持。
搜索关键词: 基于 ga base sub
【主权项】:
1.一种基于β‑Ga2O3/FTO异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于,包括β‑Ga2O3薄膜、FTO导电玻璃和电极,所述β‑Ga2O3薄膜置于FTO导电玻璃上构成异质结,在所述β‑Ga2O3薄膜和所述FTO导电玻璃上各设置有一个电极。
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