[发明专利]基于β-Ga2

说明书

本发明提供一种基于β‑Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器，包括β‑Ga₂O₃薄膜、FTO导电玻璃和电极，β‑Ga₂O₃薄膜置于FTO导电玻璃上构成异质结，在β‑Ga₂O₃薄膜和FTO导电玻璃上各设置有一个电极。本发明还提出基于β‑Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法及其应用。本发明提出基于β‑Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器，可以在有效探测UVC信号和有效过滤部分UVB和UVA光的同时，还可以有效的穿透可见光的特点。该发明为β‑Ga₂O₃/FTO异质结日盲紫外光电探测器的应用提供理论和技术支持。

技术领域

本发明属于光学技术领域，具体涉及一种基于β-Ga₂O₃和FTO异质结的日盲紫外探测器。

背景技术

日盲紫外光是指波长介于200-280nm的深紫外光，因被臭氧层吸收而使臭氧层之下的大气层中缺失200-280nm波段光。针对该波段的信号探测被称为日盲紫外探测。这一波段电磁波由于不受太阳光背景的影响，日盲紫外光信号探测灵敏度极高，工作在此波段的通信准确率也较高，在军事及航天航空等方面有广泛的应用。除了在日盲紫外通信中的应用之外，日盲紫外光电探测器还有其它方面的应用，如国防预警与跟踪、生命科学、高压线电晕、臭氧层检测、气体探测与分析，火焰传感等。

Ga₂O₃是天然的日盲探测材料，它的带隙为～4.9eV，对应波长为 254nm左右，正好落在日盲波段，且对可见光有很好的透光性，是一种非常适合于制备日盲紫外光电探测器的氧化物半导体候选材料。

由于紫外光的信号一般较微弱，常常通过制备肖特基或异质结结构等方式来实现光增益，进而可以更精准的探测紫外光信号。而且器件的应用及商业化生产往往又需要薄膜。

此外，紫外光过度照射对生物损伤严重，而FTO可有效吸收310 nm-335nm波段的紫外光，且对可见光有好的透光性。

由于FTO在超过550℃的情况下，里面的氟元素会释放，导致 FTO性能被破坏。但氧化镓需要在高温下制备才能得到更稳定的性能。因此构造Ga₂O₃/FTO异质结是本领域存在的一个难题。

发明内容

针对现有技术存在的不足之处，本发明的目的在于提供一种对可见光透明且有一定屏蔽紫外辐射作用的基于β-Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器。

本发明的另一个目的是提出所述基于β-Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法。

本发明的第三个目的是提出所述基于β-Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器的应用。

实现本发明上述目的的技术方案为：

一种基于β-Ga₂O₃/FTO异质结的日盲紫外光电探测器，包括β-Ga₂O₃薄膜、FTO导电玻璃和电极，所述β-Ga₂O₃薄膜置于FTO导电玻璃上构成异质结，在所述β-Ga₂O₃薄膜和所述FTO导电玻璃上各设置有一个电极。

FTO导电玻璃为掺杂氟的SnO₂透明导电玻璃(SnO₂：F)，简称为 FTO。