[发明专利]过滤装置和光阻涂布系统有效
| 申请号： | 201811478710.X | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109569081B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 何怀亮 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;B05C11/10;G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种过滤装置和光阻涂布系统，该过滤装置包括：储液桶，用于盛放待过滤光阻剂；搅拌结构，包括搅拌桶、及至少部分容纳所述搅拌桶内的搅拌组件；第一管路，所述第一管路的一端连通所述储液桶，所述第一管路的另一端连通所述搅拌桶；第一过滤组件，设于所述第一管路，并位于所述储液桶和所述搅拌桶之间；第一压力检测组件，设于所述第一管路，用于检测所述第一管路内光阻剂的压力；及第二管路，所述第二管路的一端连通所述搅拌桶，所述第二管路的另一端连接于涂布装置。本发明旨在提供一种过滤性能佳、分散性好的过滤装置。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 装置 光阻涂布 系统 | ||
【主权项】：
1.一种过滤装置，应用于光阻涂布系统，其特征在于，该过滤装置包括：储液桶，用于盛放待过滤光阻剂；搅拌结构，包括搅拌桶、及至少部分容纳所述搅拌桶内的搅拌组件；第一管路，所述第一管路的一端连通所述储液桶，所述第一管路的另一端连通所述搅拌桶；第一过滤组件，设于所述第一管路，并位于所述储液桶和所述搅拌桶之间；第一压力检测组件，设于所述第一管路，用于检测所述第一管路内光阻剂的压力；及第二管路，所述第二管路的一端连通所述搅拌桶，所述第二管路的另一端连接于涂布装置。
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