[发明专利]过滤装置和光阻涂布系统

权利要求书

1.一种过滤装置，应用于光阻涂布系统，其特征在于，该过滤装置包括：

储液桶，用于盛放待过滤光阻剂；

搅拌结构，包括搅拌桶、及至少部分容纳所述搅拌桶内的搅拌组件；

第一管路，所述第一管路的一端连通所述储液桶，所述第一管路的另一端连通所述搅拌桶；

第一过滤组件，设于所述第一管路，并位于所述储液桶和所述搅拌桶之间，所述第一过滤组件包括串联设置于所述第一管路的第一滤芯和第二滤芯，所述第一滤芯靠近所述储液桶，所述第二滤芯靠近所述搅拌桶，所述第一滤芯的孔径大于或等于所述第二滤芯的孔径；

第一压力检测组件，设于所述第一管路，所述第一压力检测组件包括第一压力检测器和第二压力检测器；所述第一压力检测器位于所述储液桶和所述第一滤芯之间，用于检测所述第一管路内光阻剂过滤前的压力；第二压力检测器位于所述第二滤芯和所述搅拌桶之间，用于检测所述第一管路内光阻剂过滤后的压力；

第二管路，所述第二管路的一端连通所述搅拌桶，所述第二管路的另一端连接于涂布装置；及

第二过滤组件，包括串联设置于所述第二管路的第三滤芯和第四滤芯，所述第三滤芯和第四滤芯位于所述搅拌桶和所述涂布装置之间，所述第三滤芯靠近所述搅拌桶，所述第四滤芯靠近所述涂布装置，所述第三滤芯的孔径大于或等于所述第四滤芯的孔径。

2.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述储液桶包括桶体和第一转接头，所述桶体具有盛放光阻剂的容置腔，所述桶体设有连通所述容置腔的第一开口，所述第一转接头安装于所述第一开口处，所述第一管路的一端穿过所述第一转接头容纳于所述容置腔内；

所述过滤装置还包括通气管，所述通气管的一端穿过所述第一转接头容纳于所述容置腔内，所述通气管的另一端连接有气泵。

3.如权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述第一转接头开设有连通所述容置腔的第一调节孔，所述第一管路的一端穿过所述第一调节孔伸入所述容置腔内，且所述第一管路通过所述第一调节孔可调节伸入所述容置腔内的长度；

且/或，所述第一转接头开设有连通所述容置腔的第二调节孔，所述通气管的一端穿过所述第二调节孔伸入所述容置腔内，且所述通气管通过所述第二调节孔可调节伸入所述容置腔内的长度；

且/或，所述第一管路伸入所述容置腔内的长度大于所述通气管伸入所述容置腔内的长度；

且/或，所述储液桶还包括设于所述第一开口处的密封圈，所述密封圈夹设于所述第一转接头和所述第一开口的内壁之间，用于密封所述第一转接头和所述桶体的第一开口。

4.如权利要求1至3中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述搅拌桶设有第二开口和盖合于所述第二开口的第二转接头，所述第一管路和第二管路的一端穿过所述第二转接头伸入所述搅拌桶内；

所述搅拌组件包括可转动地穿设于所述第二转接头的搅拌杆、搅拌头及驱动件，所述搅拌头连接于所述搅拌杆伸入所述搅拌桶内的端部，所述驱动件设于所述搅拌杆远离所述搅拌头的一端，所述驱动件驱动所述搅拌杆带动所述搅拌头转动，以搅拌所述搅拌桶内的光阻剂。

5.如权利要求1至3中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括：

第二压力检测组件，设于所述第二管路，所述第二压力检测组件包括第三压力检测器和第四压力检测器，所述第三压力检测器位于所述搅拌桶和所述第三滤芯之间，用于检测所述第二管路内光阻剂过滤前的压力；所述第四压力检测器位于所述第四滤芯和所述涂布装置之间，用于检测所述第二管路内光阻剂过滤后的压力。

6.如权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括设于所述第四压力检测器和所述涂布装置之间的取样检测组件，所述取样检测组件包括连接于所述第二管路的取样管、和连接于所述取样管的取样阀。

7.如权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括设于所述第二管路的第一截止阀，所述第一截止阀位于所述取样管和所述涂布装置之间；

且/或，所述过滤装置还包括第三管路和设于第三管路的第二截止阀，所述第三管路的一端与所述取样管连通，所述第三管路的另一端与所述搅拌桶连通。