[发明专利]一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法有效
| 申请号： | 201811474691.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109616395B | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 金志豪;石庆球;张聪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭。本发明通过提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，节约了更换量测灯丝的时间，减少了空气中的水汽和微粒进入到腔室当中，保证了产品的质量，也更加的便捷、实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电流 离子 注入 机量测 指示 装置 维修 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；当需要对所述量测指示装置进行维修时，通过控制所述手阀关闭所述量测通道，随后再对所述量测指示装置进行维修。
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