[发明专利]一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法

说明书

一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭。本发明通过提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，节约了更换量测灯丝的时间，减少了空气中的水汽和微粒进入到腔室当中，保证了产品的质量，也更加的便捷、实用。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法。

背景技术

现有的高电流离子注入机在运行货物时，量测指示装置可能会发生灯丝断裂等情况，设备工程师会先进行量测灯丝切换，显示正常后继续运行货物，如切换NG，设备工程师将会停止设备，开腔进行更换量测灯丝。这样不仅会浪费很多的时间，也会增加水汽，使得空气中的杂质进入到腔室中。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，用于解决以上技术问题。本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；

当需要对所述量测指示装置进行维修时，通过控制所述手阀关闭所述量测通道，随后再对所述量测指示装置进行维修。

优选地，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；

通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。

优选地，所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；

所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统用于控制所述量测指示装置切换至其他的所述量测指示灯并进行工作；

当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再对所述量测指示装置进行维修。

优选地，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。

优选地，一种量测指示装置的维修方法，适用于高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；

所述维修方法包括：

步骤S1，当需要对所述量测指示装置进行维修时，关闭所述高电流离子注入机的涡轮泵，以使所述高电流离子注入机停止工作；

步骤S2，通过所述手阀关闭所述量测通道；

步骤S3，对所述量测指示装置进行维修，并在维修完毕后转向步骤S4；

步骤S4，通过所述手阀打开所述量测通道；

步骤S5，打开所述涡轮泵，以使所述高电流离子注入机重新开始工作。

优选地，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；

所述步骤S3中，通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。

优选地，所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；