[发明专利]一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法有效
| 申请号： | 201811474691.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109616395B | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 金志豪;石庆球;张聪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电流 离子 注入 机量测 指示 装置 维修 方法 | ||
1.一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；
当需要对所述量测指示装置进行维修时，通过控制所述手阀关闭所述量测通道，随后再对所述量测指示装置进行维修；
所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；
所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统用于控制所述量测指示装置切换至其他的所述量测指示灯并进行工作；
当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再对所述量测指示装置进行维修。
2.根据权利要求1所述一种高电流离子注入机，其特征在于，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
3.根据权利要求1所述一种高电流离子注入机，其特征在于，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
4.一种量测指示装置的维修方法，适用于高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；
所述维修方法包括：
步骤S1，当需要对所述量测指示装置进行维修时，关闭所述高电流离子注入机的涡轮泵，以使所述高电流离子注入机停止工作；
步骤S2，通过所述手阀关闭所述量测通道；
步骤S3，对所述量测指示装置进行维修，并在维修完毕后转向步骤S4；
步骤S4，通过所述手阀打开所述量测通道；
步骤S5，打开所述涡轮泵，以使所述高电流离子注入机重新开始工作；
所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；
所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统控制所述量测指示装置切换至其他的所述量测指示灯并进行工作；
当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再开始执行所述步骤S1。
5.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
所述步骤S3中，通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
6.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
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