[发明专利]晶圆缺陷扫描方法

摘要

本发明提供了一种晶圆缺陷扫描方法，首先，采集晶圆表面的若干裸片的光学图像；然后，在扫描机台中建立与所述裸片相对应的傅里叶滤波模块，并利用所述傅里叶滤波模块对所述裸片进行滤波；接着，将所有的滤波结果进行拟合分析并得出拟合曲线，并在所述光学图像中，找到与所述拟合曲线中的衍射交叉点对应的噪声点；最后，阻挡所述噪声点并对若干裸片的光学图像同时进行晶圆缺陷扫描。建立与所述裸片相对应的傅里叶滤波模块，实现了针对性的滤波去噪，减少了扫描机台的背景噪声，提高了扫描机台的工作效率。进一步的，所述傅里叶滤波模块兼顾晶圆上的所有裸片，从而进行全面的一次性滤波去噪，提高了晶圆缺陷扫描的准确性和可靠性。

主权项

1.一种晶圆缺陷扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：采集晶圆表面的若干裸片的光学图像；在扫描机台中建立与所述裸片相对应的傅里叶滤波模块；利用所述傅里叶滤波模块对所述裸片进行滤波；将不同的傅里叶滤波模块的滤波结果进行拟合分析，得出拟合曲线；在所述光学图像中，找到与所述拟合曲线中的衍射交叉点对应的噪声点；阻挡所述噪声点并对若干裸片的光学图像同时进行晶圆缺陷扫描。