[发明专利]一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置在审
| 申请号： | 201811448735.5 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109382922A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 周伟平 | 申请（专利权）人： | 江苏晶成光学有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;B24B27/06;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 叶培辉 |
| 地址： | 221700 江苏省徐州市丰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座和增压泵，所述增压泵固定在所述底座的上端面，所述底座的上端面设有机架，所述机架的上端固定连接设有存储罐，所述存储罐和所述增压泵之间连通设有输液管一，所述输液管一上设有分流阀，所述分流阀连通设有输液管二，所述存储罐的下端连通设有出液管。本发明与现有技术相比的优点在于：本单晶硅片用线切割机切削液供给装置，可以提供增压输送，并带有切削液存储功能，能够进行自由移动，能够应对切削液不足的状况，密封效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 切削液供给装置 单晶硅片 线切割机 存储罐 输液管 增压泵 底座 连通 分流阀 切削液 上端面 密封效果好 存储功能 上端固定 增压 出液管 下端 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座(1)和增压泵(2)，其特征在于：所述增压泵(2)固定在所述底座(1)的上端面，所述底座(1)的上端面设有机架(3)，所述机架(3)的上端固定连接设有存储罐(4)，所述存储罐(4)和所述增压泵(2)之间连通设有输液管一(5)，所述输液管一(5)上设有分流阀(6)，所述分流阀(6)连通设有输液管二(7)，所述存储罐(4)的下端连通设有出液管(8)。
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