[发明专利]一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置

说明书

本发明公开了一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座和增压泵，所述增压泵固定在所述底座的上端面，所述底座的上端面设有机架，所述机架的上端固定连接设有存储罐，所述存储罐和所述增压泵之间连通设有输液管一，所述输液管一上设有分流阀，所述分流阀连通设有输液管二，所述存储罐的下端连通设有出液管。本发明与现有技术相比的优点在于：本单晶硅片用线切割机切削液供给装置，可以提供增压输送，并带有切削液存储功能，能够进行自由移动，能够应对切削液不足的状况，密封效果好。

技术领域

本发明涉及单晶硅片制造设备技术领域，具体是指一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，而单晶硅片需要由线切割机对晶体硅棒料进行切割，而在切割工序中，需要用到切削液进行降温润滑，而目前，传统的切削液供给装置多是附属在线切割机上，通过人工添加切削液，这种方式不仅效率低，费时费力，同时不能很好应对当切削液不足时，对生产的影响，这些问题都有待解决，所以需要对此进行改进。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种可以提供增压的、带有存储功能的、能够移动的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座和增压泵，所述增压泵固定在所述底座的上端面，所述底座的上端面设有机架，所述机架的上端固定连接设有存储罐，所述存储罐和所述增压泵之间连通设有输液管一，所述输液管一上设有分流阀，所述分流阀连通设有输液管二，所述存储罐的下端连通设有出液管。

本发明与现有技术相比的优点在于：一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座和增压泵，所述增压泵固定在所述底座的上端面，这样通过增压泵可以将相对较低位置的切削液输送到存储罐或者直接输送到输液管二，所述底座的上端面设有机架，所述机架的上端固定连接设有存储罐，这样在切削液供给源出现问题时，通过存储罐还可以继续供给切削液，而不至于产生停工的影响，所述存储罐和所述增压泵之间连通设有输液管一，所述输液管一上设有分流阀，这样通过所述分流阀可以根据不同的使用状况对供给的切削液进行分流，所述分流阀连通设有输液管二，这样通过所述输液管二可以直接对线切割机进行切削液供给，所述存储罐的下端连通设有出液管，这样可以将存储罐中的切削液输送出来。

作为改进，所述存储罐的上端设有密封装置，这样可以防止切削液在存储罐中存放时挥发造成影响。

作为改进，所述存储罐的上方连接设有压力表，这样可以对存储罐内的压力进行监测。

作为改进，所述输液管二和所述出液管上分别设有电磁阀一和电磁阀二，这样不仅可以快速而且能够进行精准控制。

作为改进，所述底座的下端面的四角设有定向轮，这样可以方便进行移动。

作为改进，所述出液管和所述存储罐的连接处设有密封环，这样可以防止所述存储罐在出液时导致切削液泄漏。

作为改进，所述机架的侧部连接设有PLC控制器，所述PLC控制器控制所述增压泵和分流阀，这样能够快速进行控制。

附图说明

图1是本发明一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置的结构示意图。

如图所示：1、底座，2、增压泵，3、机架，4、存储罐，5、输液管一，6、分流阀，7、输液管二，8、出液管，9、密封装置，10、压力表，11、电磁阀一，12、电磁阀二，13、定向轮，14、密封环，15、PLC控制器。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明。