[发明专利]一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置

权利要求书

1.一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座(1)和增压泵(2)，其特征在于：所述增压泵(2)固定在所述底座(1)的上端面，所述底座(1)的上端面设有机架(3)，所述机架(3)的上端固定连接设有存储罐(4)，所述存储罐(4)和所述增压泵(2)之间连通设有输液管一(5)，所述输液管一(5)上设有分流阀(6)，所述分流阀(6)连通设有输液管二(7)，所述存储罐(4)的下端连通设有出液管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述存储罐(4)的上端设有密封装置(9)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述存储罐(4)的上方连接设有压力表(10)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述输液管二(7)和所述出液管(8)上分别设有电磁阀一(11)和电磁阀二(12)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述底座(1)的下端面的四角设有定向轮(13)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述出液管(8)和所述存储罐(4)的连接处设有密封环(14)。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，其特征在于：所述机架(3)的侧部连接设有PLC控制器(15)，所述PLC控制器(15)控制所述增压泵(2)和分流阀(6)。