[发明专利]压印装置和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201811402119.6 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN109324476B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 佐藤一洋;长谷川敬恭;松本隆宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了压印装置和制造物品的方法。本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，包括：检测单元，被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记，检测来自第一标记和第二标记的第一光，并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板，并加热基板以使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准；其中，在所述对准中，控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差，并且其中，检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间在所述对准中由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811402119.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
