[发明专利]压印装置和制造物品的方法

权利要求书

1.一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，包括：

检测单元，被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记，检测来自第一标记和第二标记的第一光，并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；

加热单元，被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板，并加热基板以使压射区域变形；以及

控制单元，被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准；

其中，控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差，并且

其中，检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，检测单元的参数包括第一光的波长、检测单元发射第一光的方向、检测单元接收第一光的方向和检测单元的数值孔径中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，加热单元的参数包括第二光的波长和第二光入射到基板上的方向中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，

第一标记和第二标记中的至少一个包括衍射光栅，并且

令d_m是衍射光栅的周期，α_a是在垂直于基板表面的基准轴与检测单元发射第一光的方向之间的角度，β_a是在基准轴与检测单元接收第一光的方向之间的角度，α_h是在基准轴与第二光入射到基板上的方向之间的角度，sinθ是检测单元的数值孔径，λ_a是第一光的波长，λ_h是第二光的波长，m是由检测单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次，而n是由加热单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次，则检测单元和加热单元被配置成满足:

d_m(sinα_a+sinβ_a)＝mλ_a

并且满足：

d_m(sinα_h+sin(β_a-θ))nλ_h或d_m(sinα_h+sin(β_a+θ))nλ_h。

5.根据权利要求1所述的装置，还包括波长滤光器，该波长滤光器被配置成抑制由模具和基板中的至少一个反射的第二光向检测单元的入射。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，第一光和第二光具有不同的波长。

7.一种制造物品的方法，该方法包括：

使用压印装置在基板上形成图案；以及

处理在其上形成有图案的基板以制造物品，

其中通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置包括：

检测单元，被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记，检测来自第一标记和第二标记的第一光，并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；

加热单元，被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板，并加热基板以使压射区域变形；以及

控制单元，被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准；

其中，控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差，并且

其中，检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。