[发明专利]探针卡装置及其调节式探针

摘要

本发明公开一种探针卡装置及其调节式探针。探针卡装置包含间隔设置的上导板单元与下导板单元、夹持于上导板单元与下导板单元的间隔板、阻抗调节件、及多个导电探针。上导板单元包含彼此间隔设置的第一导板与第二导板，第一导板形成贯孔，第二导板形成线路层。阻抗调节件设置于第二导板、并电性耦接于线路层。每个导电探针穿过上导板单元、间隔板、及下导板单元。至少一个所述导电探针定义为调节式探针，其包含有穿出上导板单元的上接触段及相连于上接触段的延伸臂。延伸臂穿过贯孔、并抵接于线路层，以使调节式探针电性连接于阻抗调节件。据此，调节式探针能通过延伸臂来与阻抗调节件进行电性耦接，进而达到降低电源阻抗的效果。