[发明专利]探针卡装置及其调节式探针

权利要求书

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一上导板单元，包含有彼此间隔设置的一第一导板与一第二导板，所述第一导板形成有至少一个贯孔，所述第二导板形成有一线路层；

一阻抗调节件，设置于所述第二导板，并且所述阻抗调节件电性耦接于所述线路层；

一下导板单元，间隔地位于所述第二导板远离所述第一导板的一侧，并且所述下导板单元与所述第二导板之间的距离大于所述第一导板与所述第二导板之间的距离；

一间隔板，夹持于所述上导板单元的所述第二导板与所述下导板单元之间；以及

多个导电探针，穿过所述上导板单元、所述间隔板、及所述下导板单元，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述上导板单元与所述下导板单元彼此相反两外侧的一上接触段及一下接触段；

其中，多个所述导电探针的至少一个所述导电探针定义为至少一个调节式探针，并且至少一个所述调节式探针包含有相连于其所述上接触段的一延伸臂；所述延伸臂穿过至少一个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使至少一个所述调节式探针电性连接于所述阻抗调节件。

2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述外板面是面向所述第一导板，并且所述阻抗调节件固定于所述外板面。

3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述线路层设置于所述外板面，至少部分所述阻抗调节件位于所述第一导板的至少一个所述贯孔内。

4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述内板面是面向所述下导板单元，并且所述阻抗调节件固定于所述内板面，所述阻抗调节件位于所述间隔板所包围的一空间内。

5.依据权利要求4所述的探针卡装置，其特征在于，所述线路层包含有：

一内侧线路，位于所述内板面，并且所述阻抗调节件固定于所述内侧线路上；

一外侧线路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外侧线路上；及

一导电柱，埋置于所述第二导板，并且所述导电柱的两端分别连接所述内侧线路与所述外侧线路。

6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述延伸臂呈L形，并且所述延伸臂的自由端形成一导引斜面，所述导引斜面与所述线路层相夹有一锐角；其中，当至少一个所述调节式探针的所述上接触段受压迫时，所述延伸臂向外侧弹性地形变并保持抵接于所述线路层，而所述锐角的角度逐渐地缩小。

7.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于至少一个所述调节式探针中，所述上接触段具有一外径，所述延伸臂所相连的所述上接触段的部位是与所述上接触段的末端缘相隔有一距离，而所述距离不小于所述外径。

8.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，多个所述导电探针中的至少一个所述调节式探针数量为多个，并且多个所述调节式探针排成一列，所述第一导板的至少一个所述贯孔数量为多个，多个所述调节式探针的所述延伸臂分别穿过多个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使多个所述调节式探针及所述阻抗调节件通过所述线路层而彼此电性耦接。

9.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述上导板单元包含有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一支撑板，所述探针卡装置包括有一转接板，并且所述转接板抵接固定于多个所述导电探针的所述下接触段，而多个所述导电探针的所述上接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。

10.一种探针卡装置的调节式探针，其特征在于，所述探针卡装置的调节式探针包括：

一针体，呈长条状且具有一外径，所述针体包含有分别位于相反两端部的上接触段及一下接触段；其中，所述下接触段用来固定于一转接板，而所述上接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物；以及

一延伸臂，自所述上接触段侧缘朝向所述下接触段方向弯曲地延伸所形成，并且所述延伸臂所相连的所述上接触段的部位是与所述上接触段的末端缘相隔有一距离，而所述距离不小于所述外径。