[发明专利]探针卡装置及其调节式探针

说明书

本发明公开一种探针卡装置及其调节式探针。探针卡装置包含间隔设置的上导板单元与下导板单元、夹持于上导板单元与下导板单元的间隔板、阻抗调节件、及多个导电探针。上导板单元包含彼此间隔设置的第一导板与第二导板，第一导板形成贯孔，第二导板形成线路层。阻抗调节件设置于第二导板、并电性耦接于线路层。每个导电探针穿过上导板单元、间隔板、及下导板单元。至少一个所述导电探针定义为调节式探针，其包含有穿出上导板单元的上接触段及相连于上接触段的延伸臂。延伸臂穿过贯孔、并抵接于线路层，以使调节式探针电性连接于阻抗调节件。据此，调节式探针能通过延伸臂来与阻抗调节件进行电性耦接，进而达到降低电源阻抗的效果。

技术领域

本发明涉及一种测试装置，特别涉及一种探针卡装置及其调节式探针。

背景技术

由于待测物(如：半导体晶片)的操作速度愈来愈高，所以上述待测物在进行测试的过程中，也须检测待测物是否具备高频(或高速)传输的功能。然而，现有探针卡装置所包含的每个探针皆呈细长状，导致电感量增加而衍生电源阻抗的问题，使其不利于所述待测物的高速传输功能的测试。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种探针卡装置及其调节式探针，能有效地改善现有探针卡装置(或探针)所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种探针卡装置，包括：一上导板单元，包含有彼此间隔设置的一第一导板与一第二导板，所述第一导板形成有至少一个贯孔，所述第二导板形成有一线路层；一阻抗调节件，设置于所述第二导板，并且所述阻抗调节件电性耦接于所述线路层；一下导板单元，间隔地位于所述第二导板远离所述第一导板的一侧，并且所述下导板单元与所述第二导板之间的距离大于所述第一导板与所述第二导板之间的距离；一间隔板，夹持于所述上导板单元的所述第二导板与所述下导板单元之间；多个导电探针，穿过所述上导板单元、所述间隔板、及所述下导板单元，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述上导板单元与所述下导板单元彼此相反两外侧的一上接触段及一下接触段；其中，多个所述导电探针的至少一个所述导电探针定义为至少一个调节式探针，并且至少一个所述调节式探针包含有相连于其所述上接触段的一延伸臂；所述延伸臂穿过至少一个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使至少一个所述调节式探针电性连接于所述阻抗调节件。

优选地，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述外板面是面向所述第一导板，并且所述阻抗调节件固定于所述外板面。

优选地，所述线路层设置于所述外板面，至少部分所述阻抗调节件位于所述第一导板的至少一个所述贯孔内。

优选地，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述内板面是面向所述下导板单元，并且所述阻抗调节件固定于所述内板面，所述阻抗调节件位于所述间隔板所包围的一空间内。

优选地，所述线路层包含有：一内侧线路，位于所述内板面，并且所述阻抗调节件固定于所述内侧线路上；一外侧线路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外侧线路上；一导电柱，埋置于所述第二导板，并且所述导电柱的两端分别连接所述内侧线路与所述外侧线路。

优选地，所述延伸臂呈L形，并且所述延伸臂的自由端形成一导引斜面，所述导引斜面与所述线路层相夹有一锐角；其中，当至少一个所述调节式探针的所述上接触段受压迫时，所述延伸臂向外侧弹性地形变并保持抵接于所述线路层，而所述锐角的角度逐渐地缩小。

优选地，于至少一个所述调节式探针中，所述上接触段具有一外径，所述延伸臂所相连的所述上接触段的部位是与所述上接触段的末端缘相隔有一距离，而所述距离不小于所述外径。