[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备有效
| 申请号： | 201811379050.X | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109814246B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 佐野朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/28;G01J1/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可变 干涉 滤波器 光学 器件 模块 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。
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