[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：

第一反射镜；

可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及

电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，

所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同，

在从所述第一方向观察的俯视下，所述可动部是具有纵长方向的形状，

当将与所述第一方向正交且与所述纵长方向正交的第二方向上的所述可动部的宽度设为Ma、将与所述第一方向正交且与所述纵长方向平行的第三方向上的所述可动部的宽度设为Mb时，Ma＜Mb，

当将所述电极中对应于所述第三方向的部分的第三电极宽度设为La、将所述电极中对应于所述第二方向的部分的第二电极宽度设为Lb时，La＜Lb。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

从所述第一方向观察时的所述电极的外周形状为多边形，

当将从所述可动部的中心朝向所述多边形的角部的放射直线与所述多边形的边所成的角设为α、将所述电极中位于所述角部的角电极部的沿着所述放射直线的宽度设为Wc、将所述电极中沿着所述多边形的边的侧电极部在与所述边正交的方向上的宽度设为Ws时，Wc＞Ws/sinα。

3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述可动部包括沿着所述俯视下的第四方向的第四边缘、沿着与所述第四方向交叉的第五方向的第五边缘以及所述第四边缘与第五边缘交叉的角部，

所述电极具备：

第四电极部，具有沿着所述第四方向的第四内侧边和第四外侧边，在从所述第一方向观察的俯视下，所述第四内侧边配置于靠近所述第一反射镜与所述第二反射镜互相重叠的反射镜区域的一侧处，所述第四外侧边配置于与所述反射镜区域相反一侧处；

第五电极部，具有沿着所述第五方向的第五内侧边和第五外侧边，所述第五内侧边配置于所述反射镜区域一侧处，所述第五外侧边配置于与所述反射镜区域相反一侧处；以及

角电极部，与所述第四电极部的所述第四方向上的一端部和所述第五电极部的所述第五方向上的一端部连续，

所述角电极部包括外侧突出部和内侧突出部中的至少任一方，所述外侧突出部比所述第四外侧边或所述第五外侧边更向离开所述反射镜区域的方向突出，所述内侧突出部比所述第四内侧边或所述第五内侧边更向所述反射镜区域一侧突出。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述可动部和所述第二反射镜为矩形。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述电极的宽度随着距所述可动部的中心的距离的增加而变大。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述可动部在所述第一方向上的尺寸均等，

所述波长可变干涉滤波器还具备保持部，所述保持部包围所述可动部的外周而与所述可动部连结，并将所述可动部保持为能够在所述第一方向上移动。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述电极为闭合的环形。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述电极具备多个部分电极，多个所述部分电极沿着所述周向隔开预定尺寸的间隙而配置。

9.一种光学器件，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及

壳体，收纳所述波长可变干涉滤波器。