[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备

说明书

一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。

背景技术

在现有技术中，已知有一种具有一对反射膜的波长可变干涉滤波器(例如参照专利文献1)。

专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器具备设置一个反射膜的固定基板和设置另一个反射膜的可动基板。在可动基板上设有可动部和保持部，该可动部设置所述另一个反射膜，该保持部包围可动部的外周而将可动部保持为可向固定基板侧位移。并且，通过使可动部位移，从而一对反射膜之间的间隙量变化，由此，透过的光的波长变化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－139552号公报

如专利文献1所示那样，在现有的波长可变干涉滤波器中，为了不使反射膜挠曲，设置反射膜的可动部一般为正圆。

在现有技术之下，当将可动部设为正圆以外的形状时，在从可动部的厚度方向上观察的俯视下，相对于中心部分，距中心部分距离越长的位置，则位移量越小。即，在可动部上产生易于挠曲的部位和难以挠曲的部位。因此，在反射膜的面内，间隙量变得不均等。

当产生上述那样的间隙量不均等时，从波长可变干涉滤波器中输出的光的波长在面内不一致，存在波长可变干涉滤波器的波长精度下降这样的问题。因此，在现有技术中，可动部的形状受到限制。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降的波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。

根据本发明的一应用例的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。

在波长可变干涉滤波器中，通过多重反射来使光干涉的反射镜区域成为第一反射镜与第二反射镜在第一方向上互相重叠的区域。

在此，本应用例中的电极被配置为沿周向包围构成上述那样的反射镜区域的第二反射镜，该电极的宽度是指与所述周向交叉的方向的线宽。例如在为包围反射镜区域的环状电极的情况下，电极成为包括靠近反射镜区域的一侧的边缘(内侧边缘)和从反射镜区域离开的一侧的边缘(外侧边缘)的框状。在这种情况下，电极的宽度是指从反射镜区域离开的放射方向上的从内侧边缘至外侧边缘之间的距离。

在本应用例中，包围第二反射镜(反射镜区域)的电极的宽度在周向上不同。因此，能够抑制可动部发生了位移时的挠曲，可动部在第二反射镜上的挠曲被抑制。

也就是说，如上所述，在使可动部的中心向第一方向位移的情况下，根据可动部的形状，产生可动部的外周边缘中的与可动部中心的位移量之差变小的部分(难以挠曲的部分)和与可动部中心的位移量之差变大的部分(易于挠曲的部分)，由此可动部产生挠曲。对此，在本应用例中，若在易于挠曲的部分和难以挠曲的部分上使电极的宽度不同，则就能够使各部分的位移量设为大致均等。