[发明专利]一种大尺寸单晶金刚石的制备方法在审
| 申请号： | 201811342144.X | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109518272A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙创恒机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种大尺寸单晶金刚石的制备方法，本发明的方法中把单晶金刚石衬底放置在微波谐振腔的基片台上，使甲烷与氢气等混合反应气体在进入微波谐振腔之前在激光解离腔内被充分电离，激光解离腔能够使激光在腔内形成共振态，将光强提高10倍以上，可以有效降低激光器的功率；气体大量吸收能量充分解离成等离子体后在电场作用下进入微波谐振腔内进行生长，在微波能量的作用下，未电离的气体分子再次得到电离，使得碳氢活性基团浓度增加，从而实现加速单晶金刚石快速生长的目的，并且可以用来生长大尺寸单晶金刚石，制备出的单晶金刚石尺寸能够达到300mm。 | ||
| 搜索关键词： | 大尺寸单晶 单晶金刚石 微波谐振腔 金刚石 电离 解离 制备 激光 腔内 等离子体 混合反应气体 电场作用 活性基团 快速生长 浓度增加 气体分子 微波能量 吸收能量 激光器 氢气 生长 甲烷 衬底 光强 碳氢 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸单晶金刚石的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤10，对基片采用预设方式进行预处理；步骤20，对金刚石衬底进行预处理；步骤30，将进行预处理后的金刚石衬底以及基片安装到预设位置；步骤40，对腔室进行洗气处理，并在洗气后进行抽真空处理；步骤50，向激光解离腔中通入含有碳源的气体进行电离；步骤60，在基片台和喷头之间施加电场；步骤70，然后将电离后的气体通入所述微波谐振腔中进行微波等离子体化学气相沉积，在基片上生长单晶金刚石。
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