[发明专利]一种缺陷抽检方法

摘要

本发明提供一种缺陷抽检方法，应用于缺陷抽检系统中，缺陷抽检系统包括多个机台，方法包括步骤S1，将每个机台根据加工工艺的配置参数的类型进行分类，并得到分类后的每组机台；步骤S2，对每组机台进行监控，并得到每组机台的未监控数量以及未监控时间；步骤S3，将未监控数量与未监控数量阈值进行比较，以及将未监控时间与未监控时间阈值进行比较：若未监控数量超出未监控数量阈值，或者未监控时间超出未监控时间阈值，则对未监控的每组机台上的晶圆进行抽检；若未监控数量未超出未监控数量阈值，且未监控时间未超出未监控时间阈值，则返回步骤S2。本发明的有益效果在于：提高抽样检测的精确性。

主权项

1.一种缺陷抽检方法，应用于缺陷抽检系统中，所述缺陷抽检系统包括多个机台，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤S1，将每个所述机台根据加工工艺的配置参数的类型进行分类，并得到分类后的每组机台；步骤S2，对每组所述机台进行监控，并得到每组所述机台的未监控数量以及未监控时间；步骤S3，将所述未监控数量与未监控数量阈值进行比较，以及将所述未监控时间与未监控时间阈值进行比较：若所述未监控数量超出所述未监控数量阈值，或者所述未监控时间超出所述未监控时间阈值，则对所述未监控的每组所述机台上的晶圆进行抽检；若所述未监控数量未超出所述未监控数量阈值，且所述未监控时间未超出所述未监控时间阈值，则返回步骤S2；所述未监控数量用于表示所述机台上的晶圆连续未被监控到的批次数量；所述未监控时间用于表示所述机台上的晶圆连续未被监控到的时间。