[发明专利]升降装置及清洗系统有效
| 申请号： | 201811339967.7 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111167807B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 孙文婷;王锐廷;李广义;姬丹丹 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/023 | 分类号： | B08B9/023;B08B9/027;B08B9/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 装置 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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