[发明专利]升降装置及清洗系统

说明书

本发明提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种升降装置及清洗系统。

背景技术

石英管被广泛应用于半导体和光伏等迅猛发展的高科技领域，这些领域对洁净度要求非常高，因此，对石英管的洁净度要求也十分严格。在半导体制程中，一般会在扩散等工艺前对石英管进行清洗。在石英管清洗过程中，会采用自动化搬送系统将石英管转移到清洗槽中进行清洗。

现有技术中的石英管搬送系统，只能垂直移动水平放置的石英管，但是，清洗槽的底部往往具有一定倾斜角度，在使用现有技术的石英管搬送系统自外部向清洗槽中搬送石英管时，水平放置的石英管的一端先与清洗槽的底部接触，而石英管的另一端不可避免的会与清洗槽的底部反生碰撞，进而对石英管产生冲击，导致石英管的破损。

因此，如何安全地将水平放置的石英管转移至具有一定倾斜角度的清洗槽中，成为本发明所要解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种升降装置及清洗系统，以解决现有技术中水平放置的石英管与清洗槽的底部发生碰撞进而导致石英管破损的问题。

作为本发明的一方面，本发明提供了一种升降装置，用于驱动腔体进行升降运动，其中，包括：

主体结构；

主升降机构，与主体结构连接；

升降臂，与主升降机构连接，且升降臂能在主升降机构的驱动下升降；

支撑组件，与升降臂的自由端连接，用于承载腔体，且支撑组件能在升降臂的带动下使腔体进行主升降；

辅助调节机构，与升降臂连接，且辅助调节机构用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。

其中，辅助调节机构包括：

框架；

升降臂固定架，位于框架内，且升降臂固定架的一侧固定有升降臂；

第一导轨单元，包括沿竖直方向穿设在升降臂固定架中的多个第一导轨；

传动组件，与升降臂固定架连接，且传动组件能在第一驱动源的驱动下带动升降臂固定架沿第一导轨移动。

其中，所述主升降机构包括第二驱动源和两个第二导轨，两个所述第二导轨分别连接在所述主体结构的两侧，所述第二驱动源能驱动两个所述第二导轨分别沿所述主体结构的两侧升降。

其中，升降臂包括第一提升臂和第二提升臂，第一提升臂和第二提升臂分别与对应的第二导轨连接；

辅助调节机构与第一提升臂连接，以单独调节腔体的一端的高度。

其中，支撑组件包括横梁和支撑臂，其中，横梁分别与第一提升臂和第二提升臂的自由端连接；支撑臂的数量为多个，每个支撑臂的一端均与横梁连接，每个支撑臂的另一端均悬空；

支撑臂为挂钩。

其中，升降装置还包括两个挡板，两个挡板设置在横梁上，用于当腔体的中心线与水平面之间具有夹角时，阻挡腔体从支撑臂上滑落。