[发明专利]升降装置及清洗系统有效

专利信息
申请号: 201811339967.7 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN111167807B 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 孙文婷;王锐廷;李广义;姬丹丹 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: B08B9/023 分类号: B08B9/023;B08B9/027;B08B9/02;B08B13/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 升降 装置 清洗 系统
【权利要求书】:

1.一种升降装置,用于驱动腔体进行升降运动,其特征在于,包括:

主体结构;

主升降机构,与所述主体结构连接;所述主升降机构包括第二驱动源和两个第二导轨,两个所述第二导轨分别连接在所述主体结构的两侧,所述第二驱动源能驱动两个所述第二导轨分别沿所述主体结构的两侧升降;

升降臂,与所述主升降机构连接,且所述升降臂能在所述主升降机构的驱动下升降;

支撑组件,与所述升降臂的自由端连接,用于承载所述腔体,且所述支撑组件能在所述升降臂的带动下使所述腔体进行主升降;

辅助调节机构,与所述升降臂连接,且所述辅助调节机构用于调节所述腔体的水平中心线与水平面的夹角。

2.根据权利要求1所述的升降装置,其特征在于,所述辅助调节机构包括:

框架;

升降臂固定架,位于所述框架内,且所述升降臂固定架的一侧固定有所述升降臂;

第一导轨单元,包括沿竖直方向穿设在所述升降臂固定架中的多个第一导轨;

传动组件,与所述升降臂固定架连接,且所述传动组件能在第一驱动源的驱动下带动所述升降臂固定架沿所述第一导轨移动。

3.根据权利要求2所述的升降装置,其特征在于,所述升降臂包括第一提升臂和第二提升臂,所述第一提升臂和所述第二提升臂分别与对应的所述第二导轨连接;

所述辅助调节机构与所述第一提升臂连接,以单独调节所述腔体的一端的高度。

4.根据权利要求3所述的升降装置,其特征在于,所述支撑组件包括横梁和支撑臂,其中,所述横梁分别与所述第一提升臂和所述第二提升臂的自由端连接;所述支撑臂的数量为多个,每个所述支撑臂的一端均与所述横梁连接,每个所述支撑臂的另一端均悬空;

所述支撑臂为挂钩。

5.根据权利要求4所述的升降装置,其特征在于,所述升降装置还包括两个挡板,两个所述挡板设置在所述横梁上,用于当所述腔体的中心线与所述水平面之间具有夹角时,阻挡所述腔体从所述支撑臂上滑落。

6.根据权利要求2所述的升降装置,其特征在于,所述框架内还设置有位置传感器,所述位置传感器用于检测所述升降臂固定架是否到达预设高度。

7.根据权利要求1所述的升降装置,其特征在于,所述辅助调节机构能调节的所述腔体的水平中心线与所述水平面的夹角范围为1°~5°。

8.一种清洗系统,用于清洗腔体,其特征在于,包括升降装置,所述升降装置为权利要求1-7中任一所述的升降装置。

9.根据权利要求8所述的清洗系统,其特征在于,所述清洗系统还包括清洗槽,所述清洗槽具有用于承载所述腔体的倾斜底壁,所述辅助调节机构用于通过调节所述腔体的水平中心线与所述水平面的夹角,以使所述腔体的下表面与所述清洗槽的底壁平行。

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