[发明专利]一种四元覆晶式LED结构及制作方法有效

专利信息
申请号: 201811338529.9 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN109309152B 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 许晏铭;彭钰仁 申请(专利权)人: 扬州乾照光电有限公司
主分类号: H01L33/22 分类号: H01L33/22;H01L33/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王宝筠
地址: 225101 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种四元覆晶式LED结构及制作方法,该四元覆晶式LED结构没有进行衬底转移技术,直接由P型半导体层的表面出光,制作工艺简单且成本较低,极大程度的提高了生产良率,且将P型半导体层背离所述MQW多量子阱层的表面为粗化处理后的表面,可以增加出光效率。
搜索关键词: 一种 四元覆晶式 led 结构 制作方法
【主权项】:
1.一种四元覆晶式LED结构,其特征在于,所述四元覆晶式LED结构包括:外延层;所述外延层包括在第一方向上依次设置的N型衬底、N型半导体层和MQW多量子阱层,所述第一方向垂直于所述N型衬底,且由所述N型衬底指向所述N型半导体层;设置在所述MQW多量子阱层背离所述N型半导体层一侧的P型半导体层,所述P型半导体层的一侧侧壁与所述外延层的一侧侧壁齐平,另一侧侧壁延伸出所述外延层的另一侧侧壁预设长度,且所述P型半导体层背离所述MQW多量子阱层的表面为粗化处理后的表面;包围所述外延层侧壁、所述外延层背离所述P型半导体层的表面和所述P型半导体层的一侧侧壁的隔离层;贯穿所述隔离层的电极凹槽;通过所述电极凹槽与所述N型衬底接触连接的第一电极;与所述P型半导体层相邻所述MQW多量子阱层的表面进行欧姆接触的第二电极。
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