[发明专利]离子布植设备与其散热构件有效
| 申请号： | 201811337463.1 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111180300B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 程俊玮;庄凱富;陈立伟;萧名宏;郭志弘;潘俊斌;陈俊宇 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司;建泓科技实业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露有关于一种离子布植设备与其散热构件。此散热构件包含本体、多个凹陷渠道、第一流道、第二流道及流道图案。于本体中，顶表面的面积是大于底表面的面积，且第一侧面具有贯穿顶表面与底表面的凹陷部。凹陷渠道是设于相邻于第一侧面的第二侧面与第三侧面上，并形成鳍片结构。第一流道与第二流道分别穿过底表面，并延伸至本体中，且第一流道与第二流道分别位于凹陷部的两侧。流道图案是埋设于本体中，且连通至第一流道与第二流道。其中，流道图案至少覆盖部分凹陷渠道的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 设备 与其 散热 构件 | ||
【主权项】：
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