[发明专利]一种基于圆柱型TSV的矩形波导滤波器在审
| 申请号： | 201811290519.2 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109494435A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;刘景亭;余宁梅 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01P1/208 | 分类号： | H01P1/208 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 常娥 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于圆柱型TSV的矩形波导滤波器，包括采用重布线层RDL技术制作的顶面金属和底面金属，顶面金属和底面金属之间通过侧壁金属连接，侧壁金属内部纵向安装有模片，侧壁金属和膜片整体镶嵌在高电阻率的半导体衬底中，顶面金属、底面金属与衬底的交界处均设置有氧化硅填充块。本发明的矩形波导滤波器应用TSV技术进行深孔刻蚀和金属填充，制作侧壁金属和模片，应用重布线层RDL技术制作顶面金属和底面金属，使其与内部器件进行级联，有效解决了THz波器件的集成化微型化问题。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 侧壁金属 底面 顶面 矩形波导滤波器 技术制作 重布线层 圆柱型 衬底 模片 微型化 高电阻率 金属填充 内部器件 有效解决 纵向安装 集成化 交界处 氧化硅 级联 刻蚀 膜片 深孔 填充 半导体 应用 镶嵌 制作 | ||
【主权项】：
1.一种基于圆柱型TSV的矩形波导滤波器，其特征在于，包括顶面金属(2)和底面金属(3)，顶面金属(2)和底面金属(3)之间通过侧壁金属(4)连接，侧壁金属(4)内部纵向安装有模片(6)。
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