[发明专利]一种多段可控式加热平台装置及加热控制方法有效

专利信息
申请号: 201811289990.X 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109392201B 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 刘建国;王洪宇;王大志;郑佳晶;张奇;曾晓雁 申请(专利权)人: 华中科技大学;北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: H05B3/40 分类号: H05B3/40;H05B3/02;H05B1/02
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 张彩锦;曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于加热控制领域,并具体公开了一种多段可控式加热平台装置及加热控制方法,该装置包括加热平台控制模块和加热平台模块,加热平台控制模块用于实现加热平台模块温度的控制,加热平台模块包括加热平台及固定支撑散热箱,加热平台用于实现待加热材料的加热及定位,其上设置有测温器和加热棒,测温器用于将加热平台的温度传输至加热平台控制模块中,加热平台控制模块通过控制加热棒温度的升降以改变加热平台的温度;所述方法通过所述装置实现加热平台加热温度、加热速率、恒温时间等参数的调节。本发明可实现加热温度、加热速率、恒温时间等参数在室温至500℃范围内连续调节,温控精度不低于2℃,具有调节精度高、可靠方便等优点。
搜索关键词: 一种 可控 加热 平台 装置 控制 方法
【主权项】:
1.一种多段可控式加热平台装置,其特征在于,包括加热平台模块和加热平台控制模块,其中:所述加热平台模块包括加热平台(4)及设于加热平台(4)下方的固定支撑散热箱(1),该加热平台(4)用于实现待加热材料的加热及定位,其上设置有测温器(6)和加热棒(8),该测温器(6)用于将采集到的加热平台的温度传输至加热平台控制模块中,所述加热平台控制模块则通过控制加热棒(8)温度的升降,以改变加热平台的温度,该固定支撑散热箱(1)用于实现所述加热平台(4)的调平及散热;所述加热平台控制模块包括加热平台控制箱、设于加热平台控制箱内部的PLC控制器、开关电源、空气开关和固态继电器、以及设于加热平台控制箱外部面板上的温控器、触摸屏和AC电源,所述触摸屏与PLC控制器相连,用于各段加热参数的设定以及加热平台当前温度的显示,所述PLC控制器与温控器相连,该PLC控制器用于将设定的各段加热参数传输至温控器中,并用于接收温控器反馈的加热平台的当前温度,所述温控器与测温器通过信号连接构成温度反馈接收模块,并且该温控器与固态继电器通过信号连接,同时固态继电器与加热棒通过信号连接以构成升温信号控制模块,所述AC电源、空气开关和开关电源依次相连,该开关电源与PLC控制器相连。
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