[发明专利]一种多段可控式加热平台装置及加热控制方法有效

专利信息
申请号: 201811289990.X 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109392201B 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 刘建国;王洪宇;王大志;郑佳晶;张奇;曾晓雁 申请(专利权)人: 华中科技大学;北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: H05B3/40 分类号: H05B3/40;H05B3/02;H05B1/02
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 张彩锦;曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 可控 加热 平台 装置 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种多段可控式加热平台装置,其特征在于,包括加热平台模块和加热平台控制模块,其中:

所述加热平台模块包括加热平台(4)及设于加热平台(4)下方的固定支撑散热箱(1),该加热平台(4)用于实现待加热材料的加热及定位,其上设置有测温器(6)和加热棒(8),该测温器(6)用于将采集到的加热平台的温度传输至加热平台控制模块中,所述加热平台控制模块则通过控制加热棒(8)温度的升降,以改变加热平台的温度,该固定支撑散热箱(1)用于实现所述加热平台(4)的调平及散热;

所述加热平台(4)上开设有测温孔和加热孔,所述测温器(6)紧密安装在加热平台(4)的测温孔内,所述加热棒(8)利用紧固件(5)紧密贴合在加热孔内;

所述加热平台(4)上装有定位片(7),用于实现待加热材料的定位,该加热平台(4)与固定支撑散热箱(1)之间设有保护隔板(3),并且保护隔板(3)的上下面分别设有上支撑立柱(9)和下支撑立柱(2);保护隔板(3)与加热平台(4)之间设置上支撑立柱(9),保护隔板(3)与固定支撑散热箱(1)之间设置下支撑立柱(2);

所述加热平台控制模块包括加热平台控制箱、设于加热平台控制箱内部的PLC控制器、开关电源、空气开关和固态继电器、以及设于加热平台控制箱外部面板上的温控器、触摸屏和AC电源,所述触摸屏与PLC控制器相连,用于各段加热参数的设定以及加热平台当前温度的显示,所述PLC控制器与温控器相连,该PLC控制器用于将设定的各段加热参数传输至温控器中,并用于接收温控器反馈的加热平台的当前温度,所述温控器与测温器通过信号连接构成温度反馈接收模块,并且该温控器与固态继电器通过信号连接,同时固态继电器与加热棒通过信号连接以构成升温信号控制模块,所述AC电源、空气开关和开关电源依次相连,该开关电源与PLC控制器相连。

2.如权利要求1所述的多段可控式加热平台装置,其特征在于,所述上支撑立柱(9)、下支撑立柱(2)及保护隔板(3)为陶瓷隔热材料。

3.如权利要求1所述的多段可控式加热平台装置,其特征在于,所述温控器为高精度数显温控器,所述加热棒为不锈钢管包覆的耐热耐蚀镍铬铁合金材质的电阻丝制棒材,所述测温器为高精度热电偶。

4.如权利要求1-3任一项所述的多段可控式加热平台装置,其特征在于,所述加热平台的材质为不易变形及氧化变黑的铝合金。

5.如权利要求1-3任一项所述的多段可控式加热平台装置,其特征在于,所述固定支撑散热箱(1)的四周及底面设有通风散热孔,其底部还设有螺纹副连接的调平机构(10),用于加热平台(4)的调平。

6.一种多段可控式加热控制方法,其由权利要求1-5任一项所述的多段可控式加热平台装置实现,其特征在于,包括以下步骤:

1)首先将待加热材料置于加热平台上固定并调平;

2)在触摸屏上设定各温度段对应的加热温度、加热速率和恒温时间;

3)加热棒以设定的加热速率进行加热,测温器测量加热平台的实时温度,并将实时温度信号传递给温控器,温控器显示加热平台的实时温度以及触摸屏中设定的相应温度段的设定温度;

4)当加热平台的实时温度达到设定温度后温控器控制加热棒断电,并通过控制加热棒的通断电,使加热平台的实时温度维持在设定温度±1℃范围内;

5)保持设定的恒温时间后,进行下一温度段的加热;

6)重复步骤4)-5)直至完成所有温度段的加热。

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