[发明专利]超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置有效
| 申请号： | 201811276867.4 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109722628B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 方炯锡;梁仲焕;崔东旭 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;冷永华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、加热部、源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以将从源部发射的源引导至目标区域。 | ||
| 搜索关键词： | 精细 图案 沉积 设备 使用 方法 以及 通过 制造 发光 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；加热部，其容置于所述基底基板，配置成在沉积过程期间产生热用以加热；任选的设置在所述加热部的源部；以及图案引导件，其具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以便将从所述源部发射的源引导至目标区域。
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