[发明专利]超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置

说明书

本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、加热部、源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以将从源部发射的源引导至目标区域。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年10月31日提交的韩国专利申请第10-2017-0144249号的权益，该申请如同在此完全阐述一样通过引用并入本文用于所有目的。

技术领域

本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过超精细图案沉积方法制造的发光显示装置。

背景技术

随着信息技术的发展，作为用户与信息之间的连接媒介的显示装置的市场正在增长。因此，越来越多地使用诸如有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器的各种类型的显示装置。

在制造显示装置时，薄膜形式的结构由沉积设备形成。传统的图案沉积设备基于精细的金属掩模。然而，传统的图案沉积设备由于掩模阴影的相当大的偏差(由于掩模的开口的结构阻挡待沉积在基板上的源)而增加了图案尺寸容差。此外，传统的图案沉积设备存在关于掩模中心的下垂和由此导致的精度降低的问题，因此无法沉积超精细(超精细间距)图案。因此，需要一种用于实现超精细(超精细间距)图案以实现大尺寸显示面板的沉积设备。

发明内容

在一方面中，本发明提供了一种超精细图案沉积设备，其包括基底基板、加热部、任选的源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部在沉积过程开始前设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。

在另一方面中，本发明提供一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积设备包括：容置于基底基板并且产生热的加热部，设置在加热部的源部，以及图案引导件，该图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。超精细图案沉积方法包括：将超精细图案沉积设备布置在目标基板下方；布置超精细图案沉积设备和目标基板并将超精细图案沉积设备和目标基板对准；以及向所述加热部供给电压，使得所述源沉积在所述目标基板的子像素的发光区域上以形成图案。

在另一方面中，本发明提供了一种通过超精细图案沉积方法制造的发光显示装置。

在还一方面中，本发明提供了超精细图案沉积设备，其包括：基底基板；设置在基底基板上或者至少部分地嵌入基底基板中的加热部，其中所述加热部包括配置成根据从外部施加的电压而产生热以提供加热图案的加热器，从而加热靠近所述加热部设置的源部。

加热图案可以包括第一加热图案和具有与第一加热图案的温度不同的温度的第二加热图案。第一加热图案可以具有等于或高于允许源被发射的温度，而第二加热图案可以具有低于允许源被发射的温度。

超精细图案沉积设备还可包括图案引导件，所述图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。

超精细图案沉积设备还可包括以下中的一者或更多者：设置在所述图案引导件上的涂层；用于减少传递到所述图案引导件的热或使所述图案引导件保持在低于所述加热部的温度的冷却部；设置在所述加热部并且传递热的导热层；设置在所述加热部上并且传递热的导热层和密封所述加热器与所述导热层的绝缘层二者。

在还一方面中，本发明提供一种使用本发明的超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积方法包括：提供已被施加有源部的超精细图案沉积设备；将超精细图案沉积设备布置在目标基板的下方或上方；将超精细图案沉积设备与目标基板对准；以及向加热部供给电压使得源沉积在目标基板上。

附图说明